Electronic Materials Forecast Service StdVol-MEMS and these measurement data are

and these measurement data are used in the test report as a Certificate of Analysis

SEMI M1-0918 (technical revision)

SEMI MF1048-87 (Reapproved 1999) (first SEMI publication)

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため，（サブストレートおよび耐久材に関する）材料搬送と処理を調整することによって所用時間（TAT）を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく，緊急ロットのプライオリティに対応するため，緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ，それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのスケジューリングを調整することもできる。

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Electronic Materials Forecast Service StdVol-MEMS and these measurement data areSemi annual service that provides a 5 year forecast for lithography, advanced deposition, formulated cleans and CMP consumables. Provided in EXCEL format.