G00500 - SEMI G5 - 仕様　セラミックチップキャリア（CCC） StdTpc-LCD Backlight Unit SEMI S12 — Guidelines for

SEMI S12 — Guidelines for Equipment Decontamination

and filter housings as well as to neat polymers

SEMI MF847-02 (first SEMI publication)

1-1015 — Specification for Cluster Tool Module Interface 300 mm: Transport Module End Effector Exclusion Volume

本書では，あらゆる装置状況および時間が必ずどこかに類別される6つの互いに相容れない唯一の基本的な装置状態を定義している。計画外ダウンタイムと呼ばれる状態は，装置システムの「故障」状態と定義される。本仕様での装置信頼性の測定は，装置の稼動に対する装置の故障の関係に重点を置いている。

G00500 - SEMI G5 - 仕様　セラミックチップキャリア（CCC） StdTpc-LCD Backlight Unit SEMI S12 — Guidelines forReferenced SEMI Standards SEMI G6 Test Method for Seal Ring Flatness SEMI G8 Test Method for Gold Plating Quality SEMI G25 Test Method for Measuring the Resistance of Package Leads